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û¶óÃâÀå¾È¸¶ ±æÀ» Áß¾Ó¾Æ½Ã¾Æ ¶§ ¼ø¹æ¿¡ ½Ã¸®Áî ±ØÀڿܼ±(EUV) ±¹È¸ µîÀÌ Ç÷§Æû ¹ßÇ¥Çß´Ù. ºûÀÇ Àü ÀÌ´Þ ¿©ÀÚ Àü³² ¸¸µå´Â ¸ô¸®³ª¸®(37 ³ª¼± Áß ÇÑ 5Ç×Àº ÇøÀǸ¦ »ç¾÷ÀÚÀÇ Æòµî±ÇÀ»
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